(资料图片仅供参考)
1、生成硅烷。
2、也就是硅氢化合物是一系列化合物的总称,包括甲硅烷、乙硅烷和一些更高级的硅氢化合物。
3、目前应用最广泛的是甲硅烷。
4、一般来说,甲硅烷简称硅烷。
5、硅烷不与水反应。
6、硅烷作为提供硅成分的气体源,可用于制造高纯多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅和各种金属硅化物。
7、由于纯度高,控制精细,成为许多其他硅源无法替代的重要特种气体。
8、硅烷广泛应用于微电子和光电子行业,用于制造太阳能电池、平板显示器、玻璃和钢铁涂层,是世界上唯一大规模生产粒状高纯硅的中间产品。
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